3 空氣潔凈度等級

　　3.0.1 潔凈室及潔凈區內空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級應符合下列規定：

　　1 潔凈室及潔凈區空氣潔凈度整數等級應按表3.0.1確定。

　　表3.0.1 潔凈室及潔凈區空氣潔凈度整數等級

　　注：按不同的測量方法，各等級水平的濃度數據的有效數字不應超過(guò)3位。

　　2 各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應按下式計算：

　　式中：Cn——大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整數，有效位數不超過(guò)三位數;

　　N——空氣潔凈度等級，數字不超過(guò)9，潔凈度等級整數之間的中間數可以按0.1為最小允許遞增量;

　　D——要求的粒徑(μm);

　　0.1——常數，其量綱為μm。

　　3 當工藝要求粒徑不止一個(gè)時(shí)，相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。

　　4 空氣潔凈度等級的粒徑范圍應為0.1μm～0.5μm，超出粒徑范圍時(shí)可采用U描述符或M描述符補充說(shuō)明。

　　3.0.2 空氣潔凈度等級所處狀態(tài)包括空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)，空氣潔凈度等級所處狀態(tài)應與業(yè)主協(xié)商確定。

　　3.0.3 空氣潔凈度的測試方法應按本規范附錄A的要求進(jìn)行。

　　3.0.4 當潔凈室(區)內的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求控制微生物、化學(xué)污染物時(shí)，應根據工藝特點(diǎn)對各空氣潔凈度等級規定相應的微生物、化學(xué)污染物濃度限值。

　　條文說(shuō)明

　　3 空氣潔凈度等級

　　3.0.1 本規范修訂過(guò)程中，涉及潔凈技術(shù)的各有關(guān)單位、科技人員和專(zhuān)家們都強烈希望“規范應與國際接軌”，為此，本規范修訂中將空氣潔凈度等級等效采用國際標準《潔凈室及相關(guān)被控環(huán)境——第一部分，空氣潔凈度的分級》IS0 14644-1，在該標準中列出的空氣潔凈度整數等級(表3.0.1)及其關(guān)注的大于或等于要求粒徑的允許濃度有爭議時(shí)，可將式(3.0.1)得出的濃度Cn作為標準限值。由于空氣潔凈度等級的分級規定是潔凈廠(chǎng)房設計建造必須遵循的規定，所以本條的第1款～第3款為強制性條文。

　　3.0.4 隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，目前在一些高科技產(chǎn)品用潔凈廠(chǎng)房中，不僅要求控制潔凈室(區)內的微粒，還要求控制各類(lèi)微生物、化學(xué)污染物，為此增加了本條規定。