10 氣體供應

　　10.1 一般規定

　　10.1.1 潔凈廠(chǎng)房?jì)葢鶕a(chǎn)的需求使用各種不同類(lèi)型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝要求。

　　10.1.2 常用氣體的供氣方式和供氣系統，應根據氣體用量、氣體品質(zhì)和當地的供氣狀況等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。

　　10.1.3 潔凈廠(chǎng)房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統，除應符合本規范外，還應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB50016、《氫氣站設計規范》GB 50177和《氧氣站設計規范》GB 50030等的有關(guān)規定。

　　10.1.4 潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊臍怏w管道的干管，應敷設在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內。當與水、電管線(xiàn)共架時(shí)，比空氣重的氣體管道宜設在水、電管線(xiàn)下部，比空氣輕的氣體管道宜設在水、電管線(xiàn)上部。

　　10.1.5 潔凈室(區)內的可燃氣體管道和有毒氣體管道應明敷，穿過(guò)潔凈室(區)的墻壁或樓板處的管段應設置套管，套管內的管道不得有焊縫，套管與管道之間應采取密封措施。

　　10.1.6 可燃氣體管道和有毒氣體管道不得穿過(guò)不使用此類(lèi)氣體的房間;當必須穿過(guò)時(shí)應設套管或雙層管。

　　10.1.7 高純氣體管道設計應符合下列規定：

　　1 管徑應按氣體容許流量、壓力或生產(chǎn)工藝設備確定，管外徑不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm，

　　2 不得出現不易吹除的“盲管”等死空間，

　　3 管道系統應設置吹掃口和取樣口。

　　10.1.8 潔凈廠(chǎng)房的可燃氣體管道系統應設置下列安全設施：

　　1 可燃氣體管道設置閥門(mén)時(shí)應設置閥門(mén)箱，閥門(mén)箱應設置氣體泄漏報警和事故排風(fēng)裝置，報警裝置應與相應的事故排風(fēng)機聯(lián)鎖;

　　2 接至用氣設備的支管和放散管，宜設置阻火設施;

　　3 引至室外的放散管，應設置防雷保護設施，

　　4 應設置導除靜電的接地設施。

　　10.1.9 氣體過(guò)濾器應根據產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體潔凈度的要求進(jìn)行選擇和配置。終端氣體過(guò)濾器應設置在靠近用氣點(diǎn)處。

　　10.2 常用氣體系統

　　10.2.1 常用氣體供應系統宜在工廠(chǎng)內或鄰近處設置制氣裝置或采用外購液態(tài)氣體、瓶裝氣體。

　　10.2.2 氫氣、氧氣管道的終端或最高點(diǎn)應設置放散管。氫氣放散管口應設置阻火器。放散管引至室外，應高出本建筑的屋脊1m，并應采取防雨、防雜物侵入的措施。

　　10.2.3 氣體純化裝置的設置，應符合下列要求：

　　1 氣體純化裝置應根據氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇;

　　2 氣體純化裝置宜設置在氣體純化間(站)內。當潔凈廠(chǎng)房設有氣體入口室時(shí)，氣體純化間宜與氣體入口室合建;

　　3 各類(lèi)氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間(站)內。若有特殊要求時(shí)，也可根據具體要求分別設置在各自的氣體純化間內;

　　4 氣體終端純化裝置宜設置在鄰近用氣點(diǎn)處。

　　10.2.4 進(jìn)入潔凈廠(chǎng)房的氣體管道控制閥門(mén)、氣體過(guò)濾器、調壓裝置、壓力表、流量計、在線(xiàn)分析儀等，宜集中設置在氣體入口室。

　　10.2.5 氣體純化間(站)或氣體入口室內，設有氫氣等可燃氣體純化裝置或管道時(shí)，氣體純化間(站)或氣體入口室的火災危險性應按甲類(lèi)確定，并應符合下列規定：

　　1 應靠外墻設置，并應設置防爆泄壓設施;

　　2 氫氣等可燃氣體引入管道上應設置自動(dòng)切斷閥;

　　3 應具有良好的自然通風(fēng)，并應設置事故排風(fēng)裝置;

　　4 應設置氣體泄漏報警裝置，并應與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖;

　　5 應設置導除靜電的接地設施。

　　10.2.6 潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊难鯕夤艿赖?，應采取下列安全技術(shù)措施：

　　1 管道及閥門(mén)、附件應經(jīng)嚴格的脫脂處理;

　　2 應設置導除靜電的接地設施;

　　3 氧氣引入管道上應設置自動(dòng)切斷閥。

　　10.2.7 各種常用氣體的氣瓶庫應集中設置在潔凈廠(chǎng)房外。當日用氣量不超過(guò)1瓶時(shí)，氣瓶可設置在潔凈室(區)內，但應采取不積塵和易于清潔的措施。

　　10.2.8 氣體管道和閥門(mén)應根據產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇，宜符合下列規定：

　　1 氣體純度大于或等于99.999999%時(shí)，應采用內壁電拋光的低碳不銹鋼管，閥門(mén)應采用隔膜閥;

　　2 氣體純度大于或等于99.999%、露點(diǎn)低于-76℃時(shí)，宜采用內壁電拋光的低碳不銹鋼管或內壁電拋光的不銹鋼管，閥門(mén)宜采用隔膜閥或波紋管閥;

　　3 氣體純度大于或等于99.99%、露點(diǎn)低于-60℃時(shí)，宜采用內壁拋光的不銹鋼管，除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外，其余氣體管道宜采用球閥;

　　4 氣體管道閥門(mén)、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。

　　10.2.9 氣體管道連接，應符合下列規定：

　　1 管道連接應采用焊接，

　　2 不銹鋼管應采用氬弧焊，宜采用自動(dòng)氬弧焊或等離子熔融對接焊;

　　3 管道與設備或閥門(mén)的連接，宜采用表面密封的接頭或雙卡套，接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊;

　　4 管道與設備的連接應符合設備連接的要求。當采用軟管連接時(shí)，宜采用金屬軟管。

　　10.3 干燥壓縮空氣系統

　　10.3.1 潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊母稍飰嚎s空氣系統應根據各類(lèi)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定，并應符合下列規定，

　　1 供氣規模應按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計入必要損耗量確定，并應設有一定的備用供氣量;

　　2 供氣品質(zhì)應根據生產(chǎn)工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;

　　3 供氣系統可集中設置在潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊墓庹净驖崈魪S(chǎng)房外的綜合動(dòng)力站;

　　4 應選用能耗少、噪聲低的設備，宜選用無(wú)油潤滑空氣壓縮機;

　　5 含水量要求嚴格時(shí)，宜選用加熱再生吸附干燥裝置。

　　10.3.2 干燥壓縮空氣管道內輸送露點(diǎn)低于-76℃時(shí)，應采用內壁電拋光低碳不銹鋼管或內壁電拋光不銹鋼管;露點(diǎn)低于-40℃時(shí)，宜采用不銹鋼管或熱鍍鋅無(wú)縫鋼管。閥門(mén)宜采用波紋管閥或球閥。

　　10.3.3 管道連接應符合下列規定：

　　1 宜采用焊接，不銹鋼管應采用氬弧焊;

　　2 含水量露點(diǎn)嚴于-40℃時(shí)，用于管道連接的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊;

　　3 當采用軟管連接時(shí)，宜采用金屬軟管。

　　10.4 特種氣體系統

　　10.4.1 特種氣體應采用外購鋼瓶氣體、液態(tài)氣體供應，在電子工廠(chǎng)內應設置儲存、分配系統。

　　10.4.2 潔凈廠(chǎng)房?jì)忍胤N氣體的儲存分配間應采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室(區)分隔，隔墻上的門(mén)窗應為甲級防火門(mén)窗。

　　10.4.3 潔凈室(區)內可燃或有毒的特種氣體分配系統的設置，應符合下列規定：

　　1 特種氣體鋼瓶(含硅烷或硅烷混合物)應設置在具有連續機械排風(fēng)的特氣柜中;

　　2 排風(fēng)機、泄漏報警、自動(dòng)切斷閥均應設置應急電源;

　　3 一個(gè)特氣分配系統供多臺生產(chǎn)設備使用時(shí)，應設置多路閥門(mén)箱;

　　4 可燃性、氧化性特種氣體管道的設置應符合本規范第10.1和10.2節的有關(guān)規定。

　　10.4.4 特種氣體分配系統應設置吹掃盤(pán)，并應符合下列規定：

　　1 應設置應急切斷裝置;

　　2 應設置過(guò)流量控制裝置，

　　3 應設置手動(dòng)隔離閥;

　　4 吹掃氣源不宜采用常用氣體系統;

　　5 不相容特種氣體的吹掃盤(pán)不得共用吹掃氣瓶。

　　10.4.5 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應存放在潔凈廠(chǎng)房建筑外的儲存區內。儲存區的設置應符合下列規定：

　　1 儲存區應至少三面敞開(kāi)，氣瓶應固定在鋼制框架上;

　　2 氣瓶或氣瓶組與周?chē)臉嬛锘驀鷻诘拈g距應大于3.0m;

　　3 儲存區頂棚的高度應大于3.5m。