7 空氣凈化和空調通風(fēng)設計

　　7.1 一般規定

　　7.1.1 潔凈廠(chǎng)房?jì)雀鳚崈羰?區)的空氣潔凈度等級，應根據電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定。

　　7.1.2 氣流流型應根據各潔凈室(區)空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同要求選用。

　　7.1.3 有下列情況之一者，凈化空調系統宜分開(kāi)設置：

　　1 運行班次或使用時(shí)間不同;

　　2 生產(chǎn)過(guò)程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設備交叉污染，對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響;

　　3 對溫、濕度控制要求差別大;

　　4 潔凈室(區)內工藝設備發(fā)熱相差懸殊;

　　5 凈化空調系統與一般空調系統;

　　6 系統風(fēng)量過(guò)大的凈化空調系統。

　　7.1.4 潔凈室(區)內的溫度、相對濕度應符合本規范第3.2.3條的規定。

　　7.1.5 潔凈室(區)內的新鮮空氣量應符合現行國家標準《潔凈廠(chǎng)房設計規范》GB 50073的有關(guān)規定。

　　7.1.6 潔凈室(區)與周?chē)目臻g應保持一定的靜壓差，靜壓差應符合下列規定：

　　1 各潔凈室(區)與周?chē)臻g的靜壓差應按生產(chǎn)工藝要求確定;

　　2 不同等級的潔凈室(區)之間的靜壓差應大于等于5Pa;

　　3 潔凈室(區)與非潔凈室(區)之間的靜壓差應大于5Pa;

　　4 潔凈室(區)與室外的靜壓差應大于10Pa。

　　7.1.7 潔凈室(區)維持靜壓差值所需的壓差風(fēng)量，宜采用縫隙法或換氣次數法確定。

　　7.1.8 送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統的啟閉聯(lián)鎖、控制要求，應符合現行國家標準《潔凈廠(chǎng)房設計規范》GB 50073的有關(guān)規定。

　　7.1.9 非連續運行的潔凈室，可根據生產(chǎn)工藝要求設置值班送風(fēng)，并應進(jìn)行凈化處理。

　　7.1.10 潔凈室(區)的清掃方式應根據潔凈廠(chǎng)房的規模、空氣潔凈度等級等因素確定。潔凈室(區)宜采用移動(dòng)式高效真空吸塵器。對于空氣潔凈度等級為1～5級的潔凈室宜設置集中式真空吸塵系統，潔凈室內的吸塵系統管道應暗敷。

　　7.2 氣流流型和送風(fēng)量

　　7.2.1 氣流流型的設計，應符合下列要求：

　　1 氣流流型應滿(mǎn)足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級的要求?？諝鉂崈舳鹊燃墳?～5級時(shí)，應采用單向流或混合流;空氣潔凈度等級為6～9級時(shí)，宜采用非單向流;

　　2 潔凈室工作區的氣流流速應滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝和工作人員健康的要求。

　　7.2.2 潔凈室的送風(fēng)量，應符合現行國家標準《潔凈廠(chǎng)房設計規范》GB 50073的有關(guān)規定。

　　7.2.3 潔凈室(區)所需的滿(mǎn)足空氣潔凈度等級的潔凈送風(fēng)量和氣流流型，宜按表7.2.3計算。

　　7.3 凈化空調系統

　　7.3.1 潔凈廠(chǎng)房中的凈化空調系統可分為集中式凈化空調系統和分散式凈化空調系統。

　　凈化空調系統的型式應根據潔凈廠(chǎng)房的規模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定。潔凈室(區)面積較小或只有局部要求凈化時(shí)，宜采用分散式凈化空調系統，

　　7.3.2 潔凈廠(chǎng)房的潔凈室(區)送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機過(guò)濾器機組送風(fēng)等。應根據潔凈室(區)使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較，采用運行經(jīng)濟、節約能源的送風(fēng)方式。

　　7.3.3 凈化空調系統新風(fēng)的室外吸入口位置，應遠離本建筑或其他建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。

　　7.3.4 多套凈化空調系統同時(shí)運行或較大型電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的凈化空調系統的新風(fēng)，應集中處理。

　　7.3.5 凈化空調系統設計應合理利用回風(fēng)，但下列情況不得回風(fēng)：

　　1 在生產(chǎn)過(guò)程中向車(chē)間內散發(fā)的有害物質(zhì)超過(guò)規定時(shí);

　　2 采用局部處理不能滿(mǎn)足衛生要求時(shí);

　　3 對其他工序有危害或不能避免交叉污染時(shí)。

　　7.3.6 凈化空調系統需設置電加熱時(shí)，應選用不產(chǎn)塵的電加熱器，且應布置在高效過(guò)濾器的上風(fēng)側，并應采取安全保護措施。

　　7.3.7 凈化空調系統的電加濕器應采取安全保護措施。

　　7.3.8 根據氣象條件，存在冷凍可能的地區，新風(fēng)系統應采取防凍保護措施。

　　7.4 空氣凈化設備

　　7.4.1 空氣過(guò)濾器的選用和布置應符合下列要求：

　　1 空氣過(guò)濾器應根據空氣潔凈度等級選用;

　　2 空氣過(guò)濾器的處理風(fēng)量應小于或等于額定風(fēng)量;

　　3 中效(高中效)空氣過(guò)濾器宜集中設置在空調箱的正壓段;

　　4 高效(亞高效)空氣過(guò)濾器宜設置在凈化空調系統的末端;超高效空氣過(guò)濾器應設置在凈化空調系統的末端;

　　5 同一凈化空調系統內末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過(guò)濾器的阻力、效率應相近;

　　6 同一凈化空調系統內末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過(guò)濾器的使用風(fēng)量與額定風(fēng)量之比值宜相近;

　　7 對化學(xué)污染物有控制要求的潔凈室(區)，在凈化空調系統中應根據環(huán)境條件設置化學(xué)過(guò)濾器或其他去除裝置;

　　8 高效(亞高效、超高效)空氣過(guò)濾器應采用不燃或難燃材料制作。

　　7.4.2 風(fēng)機過(guò)濾器機組的設置應符合下列要求：

　　1 應根據空氣潔凈度等級和送風(fēng)量選用;

　　2 應按潔凈室(區)內生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置;

　　3 終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝和本規范的規定;

　　4 送風(fēng)量應能調節;

　　5 應便于安裝、維修及過(guò)濾器更換。滿(mǎn)布或布置率較高時(shí)，外殼強度應滿(mǎn)足檢修要求。

　　7.4.3 層流罩的設置應符合下列要求：

　　1 潔凈室(區)內等于或嚴于5級的局部?jì)艋瘏^域宜采用層流罩;

　　2 層流罩的形式和進(jìn)風(fēng)方式應根據生產(chǎn)工藝或設備需要選用;

　　3 終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝和本規范的規定;

　　4 安裝方式不應影響生產(chǎn)操作。

　　7.4.4 微環(huán)境裝置的設置應符合下列要求：

　　1 當生產(chǎn)工藝或設備對空氣潔凈度等級、外擾或溫度、相對濕度有較高要求，且所控區域不大時(shí)，宜采用微環(huán)境裝置;

　　2 微環(huán)境裝置宜與生產(chǎn)工藝設備配套;

　　3 在不影響工藝操作的前提下，應具有可靠的密閉性，內外表面應平整、光滑;

　　4 圍擋構造、材料的選用應方便生產(chǎn)操作。

　　7.4.5 干表冷器的設置應符合下列要求：

　　1 安裝位置、外形尺寸應根據潔凈廠(chǎng)房的平面和空間布置確定;

　　2 迎面風(fēng)速、結構形式應根據潔凈室(區)冷負荷、風(fēng)機過(guò)濾器機組所提供的機外余壓確定;

　　3 冷凍水進(jìn)水溫度，宜高于潔凈室(區)內空氣的露點(diǎn)溫度;

　　4 應設置排水設施。

　　7.4.6 凈化空調系統空氣處理機組的選用和布置，應符合下列要求：

　　1 應有良好的氣密性，漏風(fēng)率不得大于1%;

　　2 整體結構應有足夠的強度和剛度，內表面應平整、光滑，外表面不應結露;

　　3 布置應整齊，并應便于運行和維修;當多套空氣處理機組為同一潔凈室(區)服務(wù)時(shí)，宜選用相同規格的空氣處理機組;

　　4 送風(fēng)機宜采取變頻調速措施。送風(fēng)機可按凈化空調系統的總風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇。計算系統總阻力時(shí)，中效(高中效)、高效(亞高效、超高效)空氣過(guò)濾器的阻力宜按其初阻力的1.5～2.0倍取值;

　　5 應設置排水裝置。

　　7.5 采暖、通風(fēng)

　　7.5.1 空氣潔凈度等級嚴于8級的潔凈室(區)不應采用散熱器采暖。

　　7.5.2 潔凈廠(chǎng)房?jì)犬a(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設備和輔助設備，應設置局部排風(fēng)裝置，排風(fēng)罩宜為密閉式。局部排風(fēng)系統單獨設置的要求，應符合現行國家標準《潔凈廠(chǎng)房設計規范》GB 50073的有關(guān)規定。

　　7.5.3 潔凈室(區)的排風(fēng)系統設計，應符合下列要求：

　　1 應防止室外氣流倒灌;

　　2 含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風(fēng)系統應按其物理化學(xué)性質(zhì)采取相應防火防爆措施;

　　3 局部排風(fēng)系統排出的有害氣體，當其有害物質(zhì)濃度超過(guò)排放標準時(shí)，應采取有效處理措施。排氣管高度和排放速率應滿(mǎn)足國家現行有關(guān)排放標準的規定;

　　4 對含有水蒸氣或凝結物質(zhì)的排風(fēng)系統，應設置坡度及排放口;

　　5 排風(fēng)介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時(shí)，應設置備用排風(fēng)機和處理設備，并應設置應急電源;

　　6 排風(fēng)介質(zhì)中含易燃、易爆等危險物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時(shí)，應設置備用排風(fēng)機，并應設置應急電源;

　　7 排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統，其風(fēng)量應按在正常運行和事故情況下，風(fēng)管內爆炸危險氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20%計;

　　8 排除有爆炸危險氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統，應設置消除靜電的接地裝置。

　　7.5.4 對排風(fēng)系統中含有毒性、爆炸危險性物質(zhì)的排氣管路，應保持相對于路由區域一定的負壓值。

　　7.5.5 凈鞋室、更外衣室、盥洗室和廁所等生產(chǎn)輔助房間，應采取通風(fēng)措施。

　　7.5.6 潔凈室(區)事故排風(fēng)系統的設計，應符合下列規定：

　　1 事故排風(fēng)區域的換氣次數不應小于12次/h;

　　2 應設置自動(dòng)和手動(dòng)控制開(kāi)關(guān)，手動(dòng)控制開(kāi)關(guān)應分別設置在潔凈室(區)和潔凈室(區)外便于操作的地點(diǎn);

　　3 應設置應急電源。

　　7.6 排 煙

　　7.6.1 潔凈廠(chǎng)房中的疏散走廊，應設置機械排煙設施。

　　7.6.2 潔凈廠(chǎng)房排煙設施的設置應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關(guān)規定。當同一防火分區的丙類(lèi)潔凈室(區)人員密度小于0.02人/m2，且安全疏散距離小于80m時(shí)，潔凈室(區)可不設機械排煙設施。

　　7.6.3 機械排煙系統宜與通風(fēng)、凈化空調系統分開(kāi)設置;當合用時(shí)，應采取防火安全措施，并應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關(guān)規定。

　　7.6.4 機械排煙系統的風(fēng)量、排煙口位置、風(fēng)機的設置，應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關(guān)規定。

　　7.7 風(fēng)管、附件

　　7.7.1 凈化空調系統的新風(fēng)吸入管應設置防倒灌裝置;送、回風(fēng)管宜設置調節閥。

　　7.7.2 凈化空調系統風(fēng)管的防火閥的設置，應符合現行國家標準《潔凈廠(chǎng)房設計規范》GB 50073的有關(guān)規定。

　　含有可燃、有毒氣體或化學(xué)品的排風(fēng)管道，不得設置熔片式防火閥。

　　7.7.3 凈化空調系統的風(fēng)管、配件、過(guò)濾器以及密封材料等，應根據輸送空氣的潔凈度要求確定，并不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。

　　7.7.4 潔凈室(區)內排風(fēng)系統的風(fēng)管、閥門(mén)、附件的制作材料和涂料，應根據排除氣體的物理化學(xué)性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件確定，并不得與所輸送介質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應或引起安全事故的發(fā)生。

　　7.7.5 凈化空調系統的送、回風(fēng)總管上，應采取消聲措施，并應滿(mǎn)足潔凈室(區)內噪聲控制的要求。潔凈室(區)排風(fēng)系統，應采取消聲措施，并應滿(mǎn)足室內外噪聲標準的要求。

　　7.7.6 在集中設置的空氣過(guò)濾器的前后，應設置測壓孔或指針式壓差計。在新風(fēng)管、送風(fēng)、回風(fēng)總管段上，應設置風(fēng)量測定孔。

　　7.7.7 風(fēng)管附件及輔助材料的防火性能，應符合下列規定：

　　1 凈化空調系統、排風(fēng)系統的風(fēng)管應采用不燃材料制作，但接觸腐蝕性介質(zhì)的風(fēng)管和柔性接頭可采用難燃防腐材料制作;

　　2 排煙系統的風(fēng)管應采用不燃材料制作;

　　3 附件、保溫材料和消聲材料等均應采用不燃材料或難燃材料。