5 工藝設計

5．1 一般規定

5．1．1 潔凈廠(chǎng)房的工藝設計、工藝布局應為電子產(chǎn)品發(fā)展以及產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)預留必要的條件。

5．1．2 潔凈廠(chǎng)房工藝設計應確定各種生產(chǎn)條件，在滿(mǎn)足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下，應做到安全性能好、建設投資少、能量消耗少、運行費用低、生產(chǎn)效率高。

5．1．3 潔凈廠(chǎng)房工藝設計應根據產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求設置人流路線(xiàn)、物料運輸和倉儲設施。

5．2 工藝布局

5．2．1 潔凈廠(chǎng)房的工藝布置應按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設備的安裝和維修、物料運輸等要求確定。
在單向流潔凈室內進(jìn)行生產(chǎn)工藝設備、操作程序、人員流動(dòng)路線(xiàn)和物料傳輸布置時(shí)，應采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措施。

5．2．2 工藝布局應避免人流和物流之間的混雜和交叉，宜分別設置人員入口、物料入口和設備出入口，并應在各自的入口處設置相應的凈化設施。

5．2．3 在滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度嚴格的潔凈室(區)宜靠近空調機房布置；空氣潔凈度等級相同的工序或工作室宜集中布置。

5．2．4 潔凈室(區)內要求空氣潔凈度嚴格的工序(設備)應遠離出入口和可能干擾氣流的場(chǎng)所設置，并宜布置在上風(fēng)側；易產(chǎn)生污染的工藝設備應布置在靠近回風(fēng)口位置或下風(fēng)側。

5．2．5 工藝布置時(shí)，應根據大型生產(chǎn)工藝設備的運輸、安裝、維修的要求設置運輸通道、安裝口或檢修口。

5．2．6 潔凈廠(chǎng)房?jì)炔煌諝鉂崈舳鹊燃壍臐崈羰?區)之間聯(lián)系頻繁時(shí)，應采取防止污染的措施。

5．3 人員凈化

5．3．1 人員凈化用室和設施應根據潔凈室的規模、空氣潔凈度等級設置，并應設置生活用室。人員凈化用室宜按圖5．3．1的人員凈化程序進(jìn)行布置。

5．3．2 人員凈化用室，應根據換鞋(凈鞋)、更外衣、更潔凈工作服等的需要設置。雨具存放、廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用房和空氣吹淋室、氣閘室、潔凈工作服洗滌間及干燥間等其他用室，可根據需要設置。

5．3．3 潔凈廠(chǎng)房?jì)热藛T凈化用室和生活用室的建筑面積，應根據潔凈室的規模、空氣潔凈度等級和潔凈室內工作人員數量等確定，宜按潔凈室(區)內設計人數平均2～4m2／人計算。

5．3．4 人員凈化用室和生活用房的設置，應符合下列規定：
1 凈鞋設施應設在潔凈室入口處；
2 更換外衣和更換潔凈工作服用室不應設置在同一房間內；
3 外衣存放柜應按潔凈室(區)內設計人數配置；
4 應設置存放潔凈工作服，且帶有空氣凈化的存衣設施；
5 應設置感應式洗手和烘干設施；
6 廁所宜設在進(jìn)入人員凈化用室之前，需設在人員凈化用室內時(shí)，應設置前室。

5．3．5 潔凈廠(chǎng)房空氣吹淋室的設計，應符合下列要求：
1 在潔凈室(區)的入口處宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時(shí)，應設氣閘室；
2 吹淋室應設在更換潔凈工作服后的相鄰部位；
3 單人空氣吹淋室，應按最大班人數每30人設一臺。潔凈室(區)工作人員超過(guò)5人時(shí)，空氣吹淋室一側應設單向旁通門(mén)；
4 空氣吹淋室的進(jìn)、出門(mén)不得同時(shí)開(kāi)啟，應采取連鎖控制措施；
5 空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室(區)，宜設氣閘室。

5．3．6 人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級，宜由外至內逐步潔凈，室內可送入經(jīng)過(guò)高效空氣過(guò)濾的潔凈空氣。
潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室(區)的空氣潔凈度等級；當設有潔凈工作服洗滌室時(shí)，洗滌室的空氣潔凈度等級宜為8級。

5．4 物料凈化

5．4．1 潔凈室(區)內的設備和物料出入口，應獨立設置，并應根據設備和物料的特征、性質(zhì)、形狀等設置凈化用室及相應物凈設施。

5．4．2 物料凈化用室與潔凈室(區)之間應設置氣閘室或傳遞窗。

5．5 設備及工器具

5．5．1 潔凈室(區)內應采用具有防塵、防污染的生產(chǎn)設備和輔助生產(chǎn)設備，并應符合下列要求：
1 表面應光潔、易清潔、不積塵、不揮發(fā)化學(xué)物質(zhì)；
2 設備的傳動(dòng)部件等應密封性能好，并應防止潤滑油、冷卻劑等的泄漏；
3 對生產(chǎn)中發(fā)塵、排熱量大或排出有毒、可燃氣體的設備，應采取防擴散措施；
4 設備的金屬外殼應設置接地設施。

5．5．2 當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)時(shí)，宜采取密封隔斷措施。

5．5．3 潔凈室(區)內的設備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當所選設備超過(guò)潔凈室噪聲容許值時(shí)，應采取隔聲措施。

5．5．4 潔凈室(區)應設置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設施。

5．5．5 潔凈室(區)內，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中各種零、部件存放和傳送，宜采用專(zhuān)用容器。用于存放和傳送的專(zhuān)用容器，應符合下列規定：
1 制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應被氧化；
2 應密封性能好；
3 當存放物有嚴格的潔凈度要求時(shí)，宜充填高純度或干燥氮氣；
4 構造、外形應滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝要求，并應方便操作和運送。

5．5．6 潔凈室(區)內設置真空泵時(shí)，應符合下列規定：
1 使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置，除油后尾氣應排入排氣系統；
2 對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過(guò)爆炸下限的20％時(shí)，應設尾氣處理裝置，在排入排氣系統前應去除或稀釋可燃氣體組分；
3 傳輸易燃、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不燃泵油，并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產(chǎn)工藝設備操作系統聯(lián)鎖。