6.1 一般規定

　　6.1.1 潔凈室氣體系統施工包含工作壓力一般不高于1MPa潔凈的和高純的永久氣體、特種氣體、醫用氣體、可燃氣體、惰性氣體輸送管道以及真空吸引管道等的施工與驗收。

　　6.2 管材及附件

　　6.2.1 氣體系統管道材質(zhì)及附件，應按設計要求選配，如設計未作明確要求，選用時(shí)應與潔凈室潔凈度級別和輸送氣體性質(zhì)相適應，并應符合下列規定：

　　1 應使用無(wú)縫管材。

　　2 管材內表面吸附、解吸氣體的作用小。

　　3 管材內表面應光滑、耐磨損。

　　4 應具有良好的抗腐蝕性能。

　　5 管材金屬組織在焊接處理時(shí)不應發(fā)生變化。

　　6 負壓管道不宜采用普通碳鋼管。

　　6.2.2 所用管材應放在室內保管，不得重疊碼放。管道應無(wú)裂紋、縮孔、夾渣、起瘤、折疊、重皮、銹斑、表面損傷等缺陷。管道應平直、圓滑。

　　6.2.3 成品管外包裝和相應管端頭的管帽、堵頭等密封措施應有效、無(wú)破損。

　　6.2.4 氧氣閥門(mén)必須采用專(zhuān)用產(chǎn)品，其密封圈應采用有色金屬、聚四氟乙烯等材質(zhì)。填料應采用經(jīng)脫脂處理的聚四氟乙烯。

　　6.2.5 采用銅材的高純氣體管路，可用不銹鋼材質(zhì)的附件，但在不銹鋼材質(zhì)的管路中，不應采用銅質(zhì)的附件。

　　6.3 管道系統安裝

　　6.3.1 管道安裝前應進(jìn)行以下準備工作：

　　1 配管下料時(shí)應采用“等離子切割”或專(zhuān)用切割鋸、割管刀等工具，不應采用氧—乙炔焰切割，不得涂抹油脂或潤滑劑。

　　2 管道切口應與管軸線(xiàn)垂直，切口表面應平整、無(wú)裂紋，應去除毛刺。

　　3 在主管道上連接支管或部件時(shí)，宜用成品連接件。

　　4 普通不銹鋼管應在工廠(chǎng)的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水沖洗干凈。

　　5 氧氣管道及附件，安裝前應按相關(guān)規定方法進(jìn)行脫脂，脫脂應在遠離潔凈室的地點(diǎn)進(jìn)行，并做好操作人員的安全與環(huán)境保護工作。

　　6.3.2 管道敷設應符合設計要求，設計無(wú)要求時(shí)，應敷設在人員不易碰撞的高度上，否則應有防護設施。輸送干燥氣體的管道宜無(wú)坡度敷設;真空吸引管道和含濕氣體管道的坡度宜大于或等于0.3%，坡向真空泵站或冷凝水收集器。

　　6.3.3 不銹鋼管道應按現行國家標準《現場(chǎng)設備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗收規范》GB 50236的要求采用氬弧焊焊接連接，焊接時(shí)管內應充氬氣保護，直至焊接、吹掃、冷卻完畢后停止充氣。

　　6.3.4 有接地要求的管道，法蘭間必須接有多芯導電跨線(xiàn)。

　　6.3.5 穿過(guò)圍護結構進(jìn)入潔凈室的氣體管道，應設套管，套管內管材不應有焊縫與接頭，管材與套管間應用不燃材料填充并密封，套管兩端應有不銹鋼盤(pán)型封蓋。

　　6.3.6 高純氣體管道的安裝，除應符合以上有關(guān)條款規定外，還應符合下列規定：

　　1 經(jīng)脫脂或拋光處理的不銹鋼管，安裝前應采取保護措施，防止二次污染。

　　2 管道預制、分段組裝作業(yè)，不得在露天環(huán)境中進(jìn)行。

　　3 分段預制或組裝的管段完成后兩端應用膜、板等封閉。

　　4 高純氣體管道為無(wú)縫銅管時(shí)，應采用承插式硬釬焊焊接。

　　焊接紫銅管時(shí)應按現行國家標準《磷銅釬料》GB/T 6418要求選用磷銅釬料;焊接紫銅與黃銅管時(shí)宜按現行國家標準《銀基釬料》GB10046要求，選用HL304含銀量為50%的銀基釬料。管內應通入與工藝氣體同等純度的氮氣作為保護氣體并吹除，不宜用沾水紡織材料擦拭。

　　5 高純氣體管道如無(wú)法避免用螺紋連接時(shí)，官在銅與銅、銅與銅合金附件外螺紋上均勻掛錫，非氧氣管道宜采用聚四氟乙烯帶纏繞管口螺紋。

　　6 不銹鋼管、銅管應冷彎，彎管半徑宜大于等于5倍管材外徑;管壁不得起皺。

　　7 高純氣體管道為聚偏二氟乙烯(PVDF)管時(shí)，應采用自動(dòng)或半自動(dòng)熱焊機焊接連接。兩管對接面錯邊不應大于1mm。

　　不同壁厚的管子不得對焊，熱焊接連接時(shí)應采取保護環(huán)境和人員安全的措施。

　　8 管道系統支架間距應小于普通氣體管道的支架間距，并應采用吊架、彈簧支架、柔性支撐等固定方式。應按現行國家標準《工業(yè)金屬管道工程施工及驗收規范》GB 50235的要求，在不銹鋼管與鋼

　　支架之間墊入不銹鋼或氯離子含量不超過(guò)50×10-6(50ppm)的非金屬墊層。

　　9 潔凈室內高純氣體與高干燥度氣體管道應為無(wú)坡度敷設，不考慮排水功能，終端應設放氣管。

　　6.3.7 醫用氣體管道安裝后應加色標。不同氣體管道上的接口應專(zhuān)用，不得通用。

　　6.4 管道系統的強度試驗

　　6.4.1 可燃氣體和高純氣體等特殊氣體閥門(mén)安裝前應逐個(gè)進(jìn)行強度和嚴密性試驗。管路系統安裝完畢后應對系統進(jìn)行強度試驗。強度試驗應采用氣壓試驗，并應采取嚴格的安全措施，不得采用水壓試驗。當管道的設計壓力大于0.6MPa時(shí)，應按設計文件規定進(jìn)行氣壓試驗。

　　6.4.2 氣壓試驗應采用潔凈度與潔凈室等級匹配的惰性氣體或壓縮空氣進(jìn)行，試驗壓力為設計壓力的1.15倍。

　　試驗時(shí)應逐步緩慢增加壓力，當壓力升至試驗壓力50%時(shí)，如未發(fā)現異常與泄漏，繼續按試驗壓力的10%逐級升壓，每級穩壓3min，直至試驗壓力。穩壓10min后，再將壓力降至設計壓力，停壓時(shí)間以查漏工作的需要而定，以發(fā)泡劑檢驗無(wú)泄漏為合格。

　　6.4.3 真空管道的氣壓試驗壓力應為0.2MPa。

　　6.4.4 當管道輸送的介質(zhì)為有毒氣體、腐蝕性氣體、可燃氣體時(shí)，應進(jìn)行最高工作壓力下的泄漏試驗。對管段之間焊接接頭、管路的分支接頭、閥門(mén)的填料、法蘭或螺紋的連接處，包括全部金屬隔膜閥、波紋管閥、調節閥、放空閥、排氣閥等，應以發(fā)泡劑檢驗不泄漏為合格。

　　經(jīng)過(guò)氣壓試驗合格的系統，試驗后未經(jīng)拆卸，該管路系統可不再進(jìn)行泄漏試驗。

　　6.4.5 真空管道在強度試驗與泄漏試驗合格后，應在系統聯(lián)動(dòng)運轉前，以設計壓力進(jìn)行真空度試驗。試驗宜在氣溫變化較小的環(huán)境中進(jìn)行，試驗時(shí)間應為24h，增壓率不應大于3%。

　　6.5 管道系統的吹除

　　6.5.1 氣體管道各項試驗合格后，應使用與潔凈室潔凈度級別匹配的潔凈無(wú)油壓縮空氣或高純氮氣吹除管內污物，吹除氣流流速應大于20m/s，直至末端排出氣體在白紙上無(wú)污痕為合格。

　　6.5.2 管道吹除合格后，應再以實(shí)際輸送的氣體，在工作壓力下，對管道系統進(jìn)行吹除，應無(wú)異常聲音和振動(dòng)為合格。輸送可燃氣體的管道在啟用之前，應用惰性氣體將管內原有氣體置換。

　　6.6 氣體供給裝置

　　6.6.1 瓶裝氣體供給裝置應安裝在使用潔凈室之外的房間，兩室之間穿墻的管道應加套管，并應在管道與套管間隙填滿(mǎn)不燃材料并加密封。

　　6.6.2 裝置出口管道上的安全閥在安裝前應進(jìn)行閥門(mén)開(kāi)啟檢查。開(kāi)啟壓力、密封壓力和回座壓力應符合安全閥性能要求。

　　6.6.3 集中式真空吸引裝置應安裝在遠離潔凈室的建筑物外，安裝時(shí)應采取有效隔聲防振措施，與其連接的彎管半徑不應小于5倍管外徑，過(guò)濾清除設施應安在排氣口。

　　6.7 分項驗收

　　6.7.1 氣體系統分項驗收應首先檢查以下各項：

　　1 各種成品應有產(chǎn)品合格證，材料應有質(zhì)量證明文件。

　　2 實(shí)際使用的管道材料和規格應符合設計要求。

　　3 系統安裝應完整、正確，連接應可靠。除樓層或區域總管與所安裝系統的供氣閥門(mén)(或供氣管)不連接外，其他管路、閥門(mén)和附件都應安裝連接完畢。

　　4 不同系統的管道應有明顯的識別標志，需裝拆、檢修、維護的地方必須有識別標志，每個(gè)支、吊架附近也應有識別標志。

　　6.7.2 氣體系統的分項驗收應包括以下主控項目：

　　1 所有氣體管道都應進(jìn)行氣密檢查，檢查用壓力表精度等級不應低于1.5級，指示壓力應在表量程1/3～2/3之間。

　　檢驗方法：檢查記錄。

　　檢驗數量：全部系統管道。

　　2 高純氣體管道安裝完畢應徹底吹除，并對排氣潔凈度、干燥度和輸送氣體純度進(jìn)行檢查。

　　試驗介質(zhì)為管道實(shí)際輸送的氣體或氮氣。試驗介質(zhì)的潔凈度以微粒數衡量，干燥度以水痕量濃度衡量，純度以氧、二氧化碳痕量濃度衡量。

　　檢驗方法：檢查有資質(zhì)的檢驗單位的檢驗報告。

　　檢驗數量：全部檢驗報告。

　　3 按設計要求做管材樣板檢查的，管材軸向剖面長(cháng)度不應小于60mm。

　　檢驗方法：檢查記錄和樣板。

　　檢驗數量：抽查30%。

　　4 對輸送壓力大于等于0.5MPa的可燃氣體、有毒氣體的管道焊接處應進(jìn)行抽樣射線(xiàn)照相檢查，并應符合設計的焊縫等級要求。

　　檢驗方法：X射線(xiàn)無(wú)破損檢測。

　　檢驗數量：全部。

　　5 氣體管道應在氣密性檢驗合格后進(jìn)行泄漏率檢查，以設計壓力保持24h后泄漏率不超過(guò)0.5%為合格。允許堵漏后再試驗。

　　泄漏率按下式計算：